AMT-800/1200 全自动划片贴膜机
晶圆贴框

AMT-800/1200 全自动划片贴膜机

用于晶圆切割制程中，切割胶带的贴膜作业，采用全真空贴膜技术，实现超薄晶圆的无气泡高精度贴膜作业，支持SECS/GEM半导体通信协议，无缝接入工厂MES系统

技术规格

适用晶圆尺寸
200/300mm
自动化等级
全自动
通信接口
SECS/GEM
拓展功能
SECS/GEM/EAP/UV/OCR

核心优势

  • 采用真空贴膜技术，实现超薄晶圆高精度贴膜
  • 超柔性滚轮贴附，实现最低压力
  • 独特的Frame 独立贴膜技术实现超高产能

应用场景

划片前工序先进封装