N-J TECH 专注于晶圆减薄与晶圆划片晶圆级制程技术,是连接前道制造与终端成品的关键纽带
专为半导体晶圆减薄制程中,晶圆正面保护膜的高精度贴膜作业,支持SECS/GEM半导体通信接口,可无缝接入工厂MES系统
专为半导体晶圆减薄后晶圆整面保护膜的撕膜工艺设计,全自动系列适配大规模产线,实现高效,稳定的保护膜撕膜作业
用于晶圆切割制程中,切割胶带的贴膜作业,采用全真空贴膜技术,实现超薄晶圆的无气泡高精度贴膜作业,支持SECS/GEM半导体通信协议,无缝接入工厂MES系统
用于半导体晶圆划片工艺中,晶圆ID的读取,转化为条形码/二维码以便后续工艺读取生产资料的全自动作业
半自动晶圆清洗设备,采用二流体方式,有效去除晶圆切割过程中产生的碎屑,颗粒污染物,通过高速旋转方式自动完成干燥,提升良率
专用于晶圆切割完成后,通过精密控制升降平台,使切割后的芯片平均扩张分离,以便后续工艺方便捡取,有效提高的后续工艺的精度和稳定性
用于半导体切割支撑中,晶圆切割水的水阻值辅助控制,可有效自动控制切割水的水阻值,通过自动检测水流量的大小,自动控制水阻值,提升芯片切割良率